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Praxiswissen Mikrosystemtechnik: Grundlagen - Technologien - Anwendungen - Friedemann Völklein, Thomas Zetterer - Google Books
https://books.google.de/books?id=BnOb-NFJu3kC&pg=PA124
1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar stürmische Entwicklung erfahren hat wie die Mikroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der…
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Praxiswissen Mikrosystemtechnik: Grundlagen - Technologien - Anwendungen - Friedemann Völklein, Thomas Zetterer - Google Books
https://books.google.de/books?id=BnOb-NFJu3kC&pg=PA24#v=onepage
1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar stürmische Entwicklung erfahren hat wie die Mikroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der…