Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer ... - Ulrich Hilleringmann - Google Books

https://books.google.de/books?id=Gkh-wyPHaUkC&pg=PA162#v=onepage

Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden…