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Fertigungstechnologie: TSMC und IBM-Allianz geben Einblick in 7-nm-Fertigung - ComputerBase
https://www.computerbase.de/2016-12/fertigungstechnologie-tsmc-ibm-7-nm-euv/
Im Rahmen des IEDM 2016 erläutern TSMC und die IBM-Fertigungsallianz ihren Ansatz zur kommenden 7-nm-Fertigung und der neuen EUV-Lithografie.