RET- und OPC-Masken - Scharfe Sache: Maskentechnologie - TecChannel Workshop

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Die Halbleiter-Industrie sucht händeringend nach innovativen Fotomasken, die den immer komplexeren und kompakteren Strukturen gerecht werden. Extrem-UV und Elektronenoptik sind die Hoffnungsträger der Zukunft. - Seite 4