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  Qucosa - Monarch: Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen

  http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2004/0072/index.html

  Die Arbeit beschreibt das Potential von Schichten des Ta, Ti, W und ihrer Nitride zur Unterdrückung kupferinduzierter Degradationen im Kontakt zu Silicium. Mögliche Wechselwirkungen zwischen Cu und den im Herstellungsprozess sowie der Lebensdauer von…

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  Dampfdruck von reinen Stoffen nach CLAUSIUS CLAPEYRON - Wie wohl fühlt sich eine Komponente in einer Phase?

  //doi.org/10.5446/15670

  Keine Beschreibung vorhanden.

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  Dampfdruck von reinen Stoffen nach CLAUSIUS CLAPEYRON - Wie wohl fühlt sich eine Komponente in einer Phase?

  https://av.tib.eu/media/15670

  Keine Beschreibung vorhanden.

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