2 Ergebnisse für: nanokristallines
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Qucosa - Monarch: Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2004/0072/index.html
Die Arbeit beschreibt das Potential von Schichten des Ta, Ti, W und ihrer Nitride zur Unterdrückung kupferinduzierter Degradationen im Kontakt zu Silicium. Mögliche Wechselwirkungen zwischen Cu und den im Herstellungsprozess sowie der Lebensdauer von…
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Achmed Khammas - Das Buch der Synergie - Teil C - Inhalt
http://www.buch-der-synergie.de/c_neu_html/inhalt_c.htm
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