2 Ergebnisse für: silicidation
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Qucosa - Monarch: Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2004/0072/index.html
Die Arbeit beschreibt das Potential von Schichten des Ta, Ti, W und ihrer Nitride zur Unterdrückung kupferinduzierter Degradationen im Kontakt zu Silicium. Mögliche Wechselwirkungen zwischen Cu und den im Herstellungsprozess sowie der Lebensdauer von…
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Moderne Mikroelektronik und Beweglichkeit
http://www.tf.uni-kiel.de/matwis/amat/mw2_ge/kap_2/advanced/t2_1_3.html
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