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Low-k-Dielektrika finden breite Anwendung in der Chipfertigung | heise online
https://www.heise.de/newsticker/meldung/Low-k-Dielektrika-finden-breite-Anwendung-in-der-Chipfertigung-92971.html
Spezielle Isolierschichten, die störende Kapazitäten bei der internen Verdrahtung von Halbleiterchips verringern, kommen in immer mehr Bauteilen zum Einsatz.
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