Nanometer-Halbleiterbauelemente - Grundlagen - Konzepte - Realisierungen / SFB 348

http://wayback.archive.org/web/20041217182934/http://www.innovations-report.de/html/berichte/dfg_naturwissenschaften/bericht-373

Ziel des Sonderforschungsbereichs 348 ist die Untersuchung von Prinzipien der Nanostrukturierung und die Entwicklung innovativer Verfahren sowie experimenteller und theoretischer Methoden für daraus resultierende neuartige Bauelemente. Dieses Ziel wurde…